真空元件

·採用鋁製本體 ·伸縮囊密封 ·O型環密封 ·追加附電磁閥 ·追加耐熱型磁簧開關

●應答速度 　13msec（500mm時※）/18.5msec（1000mm時※） ※從單元到工作物的距離 ●無破真空過衝現象,可平順地將工作物離脫 　　 破壞空氣不會吹飛工作物。 ●不需要調整真空・正壓的切換時間（單動信號控制） ●破壞空氣不需要節流迴路 ●N.O.規格（非通電時、 真空吸著型）、 　N.C.規格（非通電時、 真空遮斷型）可做選擇

● 防止因破壞空氣對工作物的潤滑脂飛散

˙供給閥：N.O.規格 ˙附省能源功能 真空產生器 ˙空氣消耗量 90%削減

電磁式　伸縮囊壓力平衡

手動／伸縮囊密封

二段控制・單動／伸縮囊密封・O型環密封

氣控型／附電磁閥

氣控型／附電磁閥

• 真空環境內可作為搬送使用的氣壓缸

● 對應300mm晶圓 ● 長壽命：300萬次（常溫時） ● 發塵量：1/5以下降低（既有品比） ● 維修性 ● 安全對策 ● 省空氣（訂製品） ● 輕量 ● 與舊本體有互換性

● 省能源.大流量的3段擴散器構造 ● 3段擴散器構造，吸入流量提昇250%，空氣消耗量削減20% (本公司:噴嘴徑Ø1.3，1段噴嘴徑的比較) ● ZL212系列: 擴散器上下重疊的一體化設計。 實現小型化.大流量(ZL112的2倍流量)