真空元件

● ø20, ø25, ø35, ø50 ● 對應工作物形狀容易變形的軟片包裝工作物 ● 使用FDA（美國食品醫藥品管理局）21CFR§177.2600溶出試驗適合的矽橡膠材料 ● 採用藍色/對於異物混入檢查等容易做顏色判別 ● 降低洩漏 ● 薄型工作物（軟片．塑膠袋等）降低吸著時的皺紋

● 小型、輕量

● 閥與針閥一體化構造配管空間1/4（既有比） ● 底座部採用金屬膜片,使粉塵大幅降低 ● 初期給氣、主給氣都可做流量調整

● 適用於博版、玻璃基板、柔軟工作物的吸著、固定

● 使用壓力範圍-100kPa~1.0MPa（20℃） ● 1台正壓-真空壓都可以使用 ● 採用止回轉機構 ● 備有2種的透明外殼 ● 備有2種顏色的濾心 ● 備有2種過濾度 ● 可選擇配管徑 ● 附快速接頭 ● IN-OUT異口徑對應

● 平形附溝、伸縮形附溝 ● 吸著姿勢的安定化與脫離性提升

● 除電、除塵、集塵的作業集中於一台的箱子完成

● 直接配管型 ● 小型、輕量

防止真空機器的故障產生！ ● 依濾芯洗淨可重複使用 ●可去除 水滴

●本體材質：SCS13(SUS304相當) ●沒有氣體貯留的精密鑄造一體構造 ●與鋁製高真空L型閥XL系列的安裝 有互換性(XM系列)

● 吸盤徑／ø63, ø80 ● 真空產生器與吸盤一體化 ● 削減設置空間與配管工時 ● 2段真空產生器 ● 伸縮型附溝/平型附溝 ● 吸入流量50％增加 ● 空氣消耗量30%削減

●全不鏽鋼（SCS：SUS304相當） ●無密封材 ●最高使用溫度：260℃ ●無潤滑油