真空元件

平行密封型閘閥 XGTP系列

平行密封型閘閥 XGTP系列

● 對應300mm晶圓 ● 長壽命:300萬次(常溫時) ● 發塵量:1/5以下降低(既有品比) ● 維修性 ● 安全對策 ● 省空氣(訂製品) ● 輕量 ● 與舊本體有互換性
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