真空元件

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平行密封型閘閥 XGTP系列

平行密封型閘閥 XGTP系列

● 對應300mm晶圓 ● 長壽命：300萬次（常溫時） ● 發塵量：1/5以下降低（既有品比） ● 維修性 ● 安全對策 ● 省空氣（訂製品） ● 輕量 ● 與舊本體有互換性
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