計裝元件

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電空比例閥 ITV1000.2000.3000-X410系列

電空比例閥 ITV1000.2000.3000-X410系列

● 線性±0.5F.S以下 ● 用途例:晶圓.液晶面板.彩色濾光片等的研磨裝置及周邊機器 ● CMP裝置:研磨頭的加壓力控制
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